产品名称：
中国光电ure-2000a型光刻机
产品特点：
◆ 曝光面积：150mm×150mm
◆ 分辨力：0.8-1μm（胶厚2μm的正胶）
◆ 对准精度：0.6μm
◆ 掩模样片整体运动范围：x：6mm;y:6mm
◆ 掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸
◆ 样片尺寸：直径15mm-- 150mm；厚度0.1mm--8mm
◆ 照明均匀性： 3.5%（100mm 范围）； 5%（ 150mm范围）
◆ 掩模相对于样片运动行程：x: 5mm; y: 5mm; : 6度
◆ 最大胶厚：500m(su8胶，用户提供匀胶条件)
◆ 光源平行性：3.5
◆ 汞灯功率：1000w（直流）
◆ 曝光设定方式：定时（倒计时方式0.1s-999.9s任意设定）
◆ 外形尺寸:1400mm（长）1200mm(宽) 2150mm（高）
技术参数 配置:
（1）曝光头
◆冷光椭球镜
◆1000w进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型)
◆xyz汞灯调节台
◆光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1
、准直镜镜2、蝇眼透镜组（100个透镜）、i线滤光片
、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2
◆冷却风扇
◆循环水冷系统
（2）对准工件台
◆掩模样片整体运动台
◆掩模样片相对运动台
◆转动台
◆样片调平机构,自动完成
◆样片调焦机构，自动调
◆承片台4个（2英寸、3英寸、4英寸、6英寸）
◆掩模夹4个（3英寸、4英寸、5英寸、7英寸）
◆基片抽拉式上下机构
（3）对准显微镜
◆光源（配备品2只）、电源
◆双目双视场对准显微镜主体
◆目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）
◆物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）
（4）ccd对准系统
◆光源（配备品3只）、电源
◆成像光学系统
◆数据采集卡
◆ccd
（5）电控系统
◆汞灯触发电源(1000w直流汞灯)
◆单片机控制系统
◆控制柜桌
◆计算机系统及液晶显示器(21寸宽屏)
（6）气动系统
◆气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
◆电磁阀驱动
◆气动仪表
（7）其他附件
◆真空泵一台（无油泵）
◆空压机一台（静音泵）
◆管道
（8）技术资料
◆使用维修说明书
◆显微镜使用说明书
产品名称：
中国光电ure-2000b型光刻机
技术参数：
1．技术参数
◆曝光面积：110mm×110mm
◆分辨力：0.8μm（胶厚2μm的正胶）
◆对准精度：±1μm
◆最大焦厚：600mm（su8胶，用户提供检测条件）
◆曝光波长：365nm
◆光源平行度：2º
◆掩模样片整体运动范围：x：6mm;y:6mm
◆掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
◆样片尺寸：直径f15mm--f100mm(可适应非标准片或碎片)
厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)
◆照明均匀性：±3%（f100mm范围）
◆掩模相对于样片运动行程：x:±5mm; y:±5mm;q:±6度
◆曝光能量密度：>18mw/cm
◆汞灯功率：1000w（直流）
◆曝光设定方式：定时（倒计时方式0.1s-999.9s任意设定）
◆外形尺寸：1400mm（长）´1200mm(宽)´1850mm（高）
配置：
（1）曝光头
◆ 冷光椭球镜
◆ 1000w进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
◆xyz汞灯调节台
◆光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（100个透镜）、i线滤光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2
◆冷却风扇
（2）对准工件台
◆掩模样片整体运动台
◆掩模样片相对运动台
◆转动台
◆样片调平机构,自动完成
◆样片自动调焦机构
◆承片台4个（ø15mm 、2英寸、3英寸、4英寸）
掩模夹4个（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）
◆掩模抽拉式上下机构
（3）对准显微镜及ccd对准系统
◆光源、电源
◆双目双视场对准显微镜主体
◆目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）
◆物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）
◆ccd
◆21英寸液晶显示器
（4）电控系统
◆汞灯触发电源(1000w直流汞灯)
◆单片机控制系统
◆控制柜桌
（5）气动系统
◆气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
◆电磁阀驱动
◆气动仪表
（6）其他附件
◆真空泵一台（无油泵）
◆空压机一台（静音泵）
◆管道
（7）技术资料
◆使用维修说明书
◆显微镜使用说明书
苏州汶颢微流控技术股份有限公司
18136773235
中国 苏州